仪器名称：薄膜厚度测量仪                  Thin-Film Measurement System 型号：F20-UV 生产厂家：Filmetrics lnc.

技术指标及配置：
       厚度测量范围：3nm-40um；可测折射率最小厚度：50nm；准确度：1nm或测量厚度的0.2%中取大值；精度：0.02nm；稳定性：0.05nm；光斑：1.5mm；光源平均无故障时间：钨丝灯1200小时，紫外灯2000小时

主要功能及用途：
       F20-UV主机；UV光源；SS-3样品台；SiO2标准厚度样品；Si及BK7参考片。
       主要功能及用途：薄膜厚度测量仪利用光反射干涉的原理进行无损测量，仪器产生的光在被测膜层上下表面进行反射，由于膜层厚度及光学常数的不同，得到的干涉图形也会不同，设备附带的软件对所采集的数据进行分析和计算，最终得到所需要的测量结果，简便快速的测量厚度和光学参数（n和k）。主要用于测量分析膜层情况，改进工艺，监测产品质量。