近年来，电子信息产业受到集成电路，微纳制造及智能传感等新兴技术的推动而高速发展。而这些技术的核心在于微纳器件的制备及表征。上海智能电子与系统研究院/复旦大学信息学院微纳系统中心的微纳工艺平台占地面积逾588m2，包含105m2的百级黄光光刻间和483m2的千级净化室。平台拥有用于光刻、淀积、刻蚀及柔性工艺的大型精密微纳工艺与器件的物相与电学测量的表征设备110余台套，总价值超过2000万元。目前已承担多项国家级和省部级重大科研项目如科技部重大研发、张江国家实验室及国家自然科学基金等。实验室的主要功能及宗旨如下：

• 承担国家级和省部级等重大科研项目，满足国家重大战略需求
• 研发新型微纳工艺与器件技术，推动半导体技术与国际学术前沿发展
• 培养微纳工艺与微电子领域的复合型研究/工程人才，促进电子信息产业的发展