设备
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仪器名称：台式扫描显微镜 Phenom Desktop SEM
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技术指标及配置：
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电子放大倍数 |
80-45000倍 |
光学放大 |
20-120倍 |
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分辨率 |
优于25nm |
灯丝 |
CeB6灯丝 |
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加速电压 |
5-15KV连续可调 |
抽真空时间 |
＜15秒 |
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能量分辨率 |
＜137eV |
元素探测范围 |
C（6）- Uranium（92） |
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最大技术率 |
1,000,000cps |
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主要功能及用途：
主要用于表征微米和纳米级材料的表面形貌特征以及元素成分组成。进行各种材料的成分和结构解析，包括金属材料、金属失效分析、硅酸盐材料、陶瓷、电子、表面材料加工、超硬材料、化工材料、光学材料、生物材料、纳米材料等。
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