设备

仪器名称:热蒸发镀膜设备
                  SPECTROS 100/150 Organic Materials Thin Film Deposition System
生产厂家:Kurt J. Lesker Ltd
型号:Super Spectros 100/150

 

技术指标及配置:

手套箱

4手套-手套箱尺寸(L*W*H mm):2400*750*900

5手套-手套箱尺寸(L*W*H mm):1200*320*1175

掩膜托板

D-SMH003001

150mm x150mm;不锈钢

系统极限真空

1 x 10-7 mba

 

主要功能及用途 :
       在金属、陶瓷、塑料等基片的表面进行沉积镀膜,制备均匀的薄膜,膜厚度可由数百埃至数微米,测量分析镀膜。利用高温或低温热蒸发源来制备有机金属材料薄膜,用于纳米材料、太阳能光伏电池等领域的元件研发。

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