仪器名称:热蒸发镀膜设备 SPECTROS 100/150 Organic Materials Thin Film Deposition System 生产厂家:Kurt J. Lesker Ltd 型号:Super Spectros 100/150 |
技术指标及配置:
手套箱 |
4手套-手套箱尺寸(L*W*H mm):2400*750*900 |
5手套-手套箱尺寸(L*W*H mm):1200*320*1175 |
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掩膜托板 (D-SMH003001) |
150mm x150mm;不锈钢 |
系统极限真空 |
1 x 10-7 mba |
主要功能及用途 :
在金属、陶瓷、塑料等基片的表面进行沉积镀膜,制备均匀的薄膜,膜厚度可由数百埃至数微米,测量分析镀膜。利用高温或低温热蒸发源来制备有机金属材料薄膜,用于纳米材料、太阳能光伏电池等领域的元件研发。
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