设备

仪器名称:超临界点干燥仪    
                 Supercritical Point Dryer
型号:Autosamdri-815B, Series B
生产厂家:Tousimis
 

 

技术指标及配置:
       洁净室兼容与防静电设计;具有微处理控制器,可全自动化处理;具有集成温度控制器,可完全自动控温;可以一次干燥5片直径为4英寸的圆晶;配备SOTER冷凝器,可回收废弃乙醇和降低噪音;内腔有照明,带观察窗;拥有高效隔热的冷却系统,使系统能够迅速从室温降到将近0°C;可重复操作参数确保了结果的可重复性;所有内表面均适用于二氧化碳和高纯乙醇。

 

规格:样品室容积:326 mL;温度范围:-30 ℃ 至 60 ℃,
压力范围:0至2000 psi,120V/50-60Hz(可选其他电压)

 

主要功能及用途:
       针对微纳结构芯片、MEMS器件、纳米材料等采用普通方法干燥时,会破坏材料的微观结构,用二氧化碳超临界干燥可以完好的保存微纳结构、MEMS器件、纳米材料的微观结构。此超临界点干燥仪能够实现二氧化碳超临界干燥。同时,能够全自动运行,具有良好的稳定性和多次操作的可重复性。

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