飞秒光纤激光器

脉宽＜120fs；重复率：80MHz±1MHz，平均功率＞120mW，中心波长：780nm±10nm；

马达控制扫描工作台

范围：100×130 mm，写入范围100×100 mm；

显微镜

蔡司油浸式接物镜(×100)，数字孔径：1.4，工作距离：170μm；

高分辨率显微镜照相机

分辨率：1388(H)×1038(W)＝1.4Mega Pixel, Color，4.65μm×4.65μm，芯片尺寸：1/2”；

自调水平式防震台

对应900×900mm面包钣； 

样品夹具

10×30mmØ，样品厚度：170μm，铝制，阳极处理；2个打印头，SHR（取代单式打印头）

光刻胶

各类商用光刻胶及IP-L 780； IP-G 780