|  | 仪器名称:亚微米倒装贴片机  Submicron Flip Chip Bonder 型号:Fineplacer Lambda 生产厂家:德国Finetech GmbH & Co. KG | 
技术指标及配置:
| 倒装贴片精度 | +/- 0.5μm | 芯片大小 | 0.15-40 mm | 
| 基板尺寸 | 最大190×104 mm | 工作台高度调节 | 0-10 mm | 
| 基板加热 | 50×50 mm;RT - 400°C; 升温速率1-20 °C /s | 键合压力 | 0.1-20 N | 
| 超声键合 | 功率20 W, 时间4 s, 频率60 KHz | 
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主要功能及用途:
带惰性气体保护腔体;配置工艺观察相机,具有工艺观察并摄像能力;配置点胶机,具有点和线的点胶功能;Window软件平台,闭环控制并实时显示键合温度、超声参数等,具有键合工艺追踪能力(log功能),能够适时采集顶视和侧视工艺图像及视频并保存
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