学科方向名称

主要研究领域、特色与优势

智能微纳系统设计与集成

围绕国家在微纳电子领域中长期规划的战略部署以及“后摩尔时代”微纳电子发展的国际前沿，开展微纳智能电子系统关键技术以及物联网等领域研究,是当前学科专业的重要发展方向。研究领域包括：智能芯片、智能集成、智能交互。研究特色在于：以物联网和人工智能应用驱动，侧重系统创新，结合新型微纳器件和纳米加工技术，研究微型智能系统的关键芯片与全系统集成。

微纳电子器件与系统

针对未来智能社会对信息产业所提出的重大挑战，并围绕国家微纳电子中长期规划及“后摩尔时代”国际前沿，同时结合各种新材料与新工艺、新概念和新原理，微纳电子器件与系统重点开展：新结构半导体器件及其系统集成技术、新型半导体器件模型建模与模拟、新型微纳光电子材料及其应用性研究。

纳米结构与系统加工制造

主要研究领域：1）基于电子束光刻的纳米加工工艺研发和应用研究；2）纳米压印工艺研究及其应用研究；3）应用研究包括：新型微纳米电子器件、纳米光子晶体、超材料和超表面的光场调控、新型红外光电探测器、同步辐射X射线光学部件研制和研发、以及各种纳米结构和器件。特色和优势：1）纳米加工制备的各个工艺环节（光刻、腐蚀、沉积和检测）整体发展平齐和全面；2）在最小加工尺寸、高宽比、穿透电子束光刻、3D灰阶电子束光刻和密集纳米图形加工等方面具有独特优势，达到国内领先和国际先进的水平；3）纳米加工制备应用面广，在生物、药物、物理、化学等及其交叉学科都得到广泛应用。